拡散炉用ヒーター

5G時代の幕開けで高まる半導体ニーズに、最先端の”熱技術”で対応

次世代通信規格5G時代の幕開け、そしてあらゆるものがインターネットに繋がるIoTの加速により、半導体が必要とされる分野は限りなく広がっています。当社はこうしたニーズに対応するため、半導体製造に求められる精密な温度制御技術、クリーンでばらつきの無い製造技術の向上に努めています。当社の製品は世界でトップクラスの半導体製造装置メーカー各社に採用され、高い品質ときめ細やかな対応力で厚い信頼を得ています。次世代半導体デバイスの製造に必要とされる高度な熱処理技術へのご要望にお応えします。

削除: 拡散炉用ヒーターは、半導体製造のウエハープロセス(前工程)における熱処理に用いられます。プロセスの微細化およびウエハーの大口径化に伴い、きめ細かな温度制御機能が求められています。